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[스마트팩토리+오토메이션월드 2021] 리스광시스템, 현미경과 웨이퍼검사시스템 '주목'

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헬로티 김진희 기자 |

 

 

리스광시스템이 ‘스마트공장·자동화산업전 2021(SmartFactory+AutomationWorld 2021)’에서 현미경, 텔레스트릭 렌즈, 웨이퍼 검사 시스템 등 다양한 머신비전 제품을 선보였다.

 

스마트공장·자동화산업전 2021은 9월 8일(수)부터 10일(금)까지 서울 코엑스 전관에서 열리는 아시아 최대 규모 스마트공장 및 자동화산업 전문 전시회다.

 

리스광시스템이 이번에 선보인 현미경은 쾰러 조명계 & 튜브 렌즈, 대물 렌즈로 구성 되어있는 광학계이며, 다양한 배율의 튜브 렌즈와 대물 렌즈 적용이 가능하다. 필터, 편광자, 빔 스플리터 등 다양한 광학 부품들을 적용할 수 있으며, 공간적 제약이 많은 환경에서 사용할 수 있도록 최적화 되어있다. 웨이퍼 검사, 원자 현미경, 바이오 칩 검사 등에 사용이 되고 있으며, 고객 요청에 따른 전 사양 커스터 마이징이 가능하다.

 

 

이와함께 전시된 텔레센트릭 렌즈는 시료의 단차 또는 원근감으로 인한 불필요한 영상을 제거하고 2D 영상을 보여주며, 필드 높이 & 투시 각도에 관계없이 검사가 가능한 광학계다. 스탠다드 타입과 고 분해능 타입이 있으며, 현재 시장 동향에 맞춰 가기 위해 센서 사이즈 1.1인치가 커버 가능한 라인업이 구성되어 있다.

 

긴 작동 거리와 넓은 화각을 가진 대구경 렌즈 라인업도 있으며, 자사에서 최적 설계된 돔 조명 사용시 밝은 광량과 높은 균일도로 최적의 영상 화질을 제공한다. 주로 반도체 및 웨이퍼 정밀 측정, 3D 개체 검사에 사용되는 이미징 광학 시스템이다.

 

 

리스광시스템이 전시한 또하나의 제품은 웨이퍼 검사시스템이다. 이 시스템은 시료에 따른 주문형 Optical 구성이 가능하며, 다양한 비전과 스테이지를 적용시켜 검사 프로그램을 통해 다양한 샘플을 테스트할 수 있는 장비다.

 

또한, LLC(Linear Lens Changer)을 통해 광학계 배율 변화가 가능하고, 고객 요청에 따른 오토 스테이지 또는 메뉴얼 스테이지로 커스터마이징 가능하다. 주로 웨이퍼 셀 정보 비교 검증 및 양불 판정, PCB 및 회로 기판 검사, 바코드 & QR코드 검사, Die 내부 PAD Marking 유무 검사, LED 또는 OLED 칩 양불 검사 등에 사용되는 설비다.

 

리스광시스템은 검사장비용 광학계를 국내 순수 기술력으로 자체 설계 제작하는 업체다. 모든 광학 시스템의 자체 설계와 최적의 시스템 구축을 위한 컨설팅을 제공하며, 각종 반도체 및 디스플레이산업용, 의료, 레이저가공용, 조명용 광학계 설계와 제조를 하고 있다.

 

한편 첨단, 한국산업지능화협회, 한국머신비전산업협회, 코엑스가 공동주최하는 이번 전시회는 ‘디지털뉴딜의 미래(The Future of Digital New Deal)’라는 주제 하에 약 500개사 스마트공장, 머신비전, 자동화 기업이 참가하여 1,800개 부스에서 최신 스마트 제조 기술을 선보이고 있다.

 

이밖에도, 산업단지특별관, 미래 스마트제조 주제관이 참관객들을 맞이하며, 2021 산업 디지털 전환 컨퍼런스를 비롯해 머신비전기술 세미나 등 200개 전문 컨퍼런스 세션이 마련되며, 글로벌 ESG포럼이 개최됐다.

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