美, ASML에 구형 노광장비까지 中 수출 제한 요청
미국이 네덜란드에 세계적 반도체 제조장비 업체 ASML의 장비에 대한 중국 판매 추가 제한을 요구하고 있다고 블룸버그통신이 이 사안을 잘 아는 소식통의 말을 인용해 5일(현지시간) 보도했다.
블룸버그는 돈 그레이브스 미국 상무부 부장관이 5월 말부터 지난달 초까지 네덜란드를 방문했을 때 ASML이 만드는 구형 심자외선(DUV) 노광장비의 중국 판매 금지를 요청했다고 밝혔다.
앞서 네덜란드 정부는 미국의 압박으로 ASML이 세계에서 유일하게 생산하는 최첨단 극자외선(EUV) 노광장비의 중국 수출 승인을 내주지 않는데, 이런 조치를 구형 노광장비까지 확대해달라는 것이다. 그레이브스 부장관은 당시 네덜란드 펠트호번에 있는 ASML 본사를 방문해 페터르 베닝크 ASML CEO와도 만났다고 블룸버그는 덧붙였다.
미국은 일본에 대해서도 니콘 DUV 노광장비의 중국 판매 금지를 요청하는 것으로 전해졌다. DUV 노광장비는 EUV 같은 최첨단 기술은 아니지만, 자동차나 스마트폰, PC, 로봇 등에 들어가는 반도체를 만드는 데 사용되는 보편적인 기술이다.
블룸버그는 미국의 요청을 네덜란드가 수용하면 중국 최대 파운드리 업체인 SMIC나 화훙 반도체 등 중국 반도체 업계는 물론 중국의 '반도체 굴기'도 상당한 타격을 받을 것이라고 설명했다. 민간 싱크탱크 대만경제연구원(TIER)의 존슨 왕 애널리스트는 노광장비는 중국이 가장 대체하기 힘든 장비여서 노광장비 해외 조달이 막히면 중국 반도체 산업의 성장도 멈춰 설 것으로 전망했다.
다만 블룸버그는 네덜란드 정부가 독일, 벨기에에 이은 3대 교역국인 중국과의 무역 관계 훼손에 대한 우려로 아직 미국의 요구를 받아들이지는 않은 상태라고 전했다. 이에 ASML의 대변인은 DUV 노광장비 중국 수출 금지 논의가 전혀 새로운 이야기가 아니라면서 어떤 결정도 내려지지 않은 상태에서 소문에 대해 논평하거나 추측을 하지는 않을 것이라고 말했다.
중국은 '협박 외교', '기술 테러리즘'이라는 용어를 동원해 거칠게 미국을 비난했다. 자오리젠 중국 외교부 대변인은 6일 정례 브리핑에서 관련 질문에 "이것은 미국이 국가의 역량을 남용해 협박 외교를 한다는 증거고, 전형적인 기술 테러리즘"이라며 "미국은 과학기술과 경제·무역 문제를 정치화, 도구화, 이데올로기화해 다른 나라에 대해 기술봉쇄를 하고 있다"고 말했다.
이어 그는 "다른 나라들에 미국에 의존해서는 안 된다는 경각심을 갖게 하고, 각국은 과학기술 자립 자강을 가속할 것"이라며 "남의 길을 막으려는 시도는 결국 자신의 길만 막게 될 것"이라고 주장했다.
자오 대변인은 또 "미국이 객관적이고 공정한 입장을 견지하고, 장기적인 이익과 공평·공정한 시장 원칙에서 출발해 그에 맞는 결정을 내리기를 희망한다"며 "관련 측이 독립적이고 자주적인 입장에 따라 독립적인 결정을 내릴 것으로 믿는다"고 강조했다.
앞서 올해 초 베닝크 CEO는 DUV 노광장비가 이미 오랜 기간 사용된 기술이라며 중국 판매 금지에 반대한다는 입장을 밝힌 바 있다. 이날 뉴욕증시에서 ASML의 주가는 미국 정부의 움직임이 알려지면서 장중 한때 8.3%까지 급락한 끝에 전날 종가보다 3.87% 떨어진 432.40달러에 거래를 마쳤다.
헬로티 서재창 기자 |
