이솔, 펠리클 EUV 투과도 검사 방법 관한 국제 표준안 제안

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펠리클의 EUV 투과도, EUV 공정에서 초미세 반도체 수율에 지대한 영향 끼쳐

산업통상자원부 국가기술표준원은 15일 중소기업인 '이솔(E-SOL)'이 개발한 반도체 장비 기술이 국제표준으로 제안됐다고 밝혔다.

이솔은 반도체 극자외선(EUV) 공정에 쓰이는 마스크 계측·검사 장비, 마스크 보호 박막(펠리클)의 투과도 검사 장비 등을 제작·판매하는 기업이다. 이솔은 마스크를 보호하는 박막인 펠리클 투과도 검사 장비를 개발하고, 이 장비를 활용한 펠리클의 EUV 투과도 검사 방법을 신규국제 표준안으로 제안했다.

초미세 반도체를 만드는 EUV 공정은 EUV 광원이 미세회로가 그려진 마스크를 통해 웨이퍼에 회로를 새기는 방식이다. 펠리클은 마스크 위에 씌워 미세먼지 등 오염 물질로부터 마스크를 보호하는 박막이다. EUV 공정에서 펠리클의 EUV 투과도는 초미세 반도체 수율에 큰 영향을 미친다.

헬로티 서재창 기자 |

[CLICK BOOK] ‘2024 디지털 전환 가이드북’ 발간...“DX 위한 필독서”

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[인더스트리 솔루션 인사이트] 업계 전문가가 짚어본 스마트 제조 핵심 기술과 대전망

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제조기업의 스마트 팩토리 구현 목표는 AI 기술을 만나 더 빠르게 진화하고 있습니다. 이번 웨비나는 AI 진단 솔루션, PHM, 설비 안전관리 및 원격 모니터링과 유지보수, 설비 최적 관리의 다양한 솔루션, 적용 사례와 함께 구체적인 방법에 대해서 어드밴텍과 WISE-PaaS 파트너가 함께 솔루션을 제공합니다. 산업 내 AI 도입을 가속화하는 AI 플랫폼을 바탕으로 이상탐지, 최적화 등 최첨단 AI 솔루션을 제공하는 마키나락스는 AI 비즈니스 가치 창출을 위한 MLOps 전략을 제시합니다. 제조산업 고도화를 위한 AI 분석 솔루션을 제공하는 비스텔리젼스는 실시간 데이터 수집 및 시각화를 통해 스마트 공장을 구축하고 의미 있는 인사이트를 얻는 방법을 소개합니다. 제조분야 자동화시스템, AI 분석 플랫폼 등에서 다각적 서비스를 제공하는 유디엠텍은 공정 재현 및 데이터 분석, 실시간 운영 모니터링 및 데이터 집계 등을 가능케 하는 OPTRA BLACK-BOX와 OPTRA TRACKE을 소개합니다. 퓨처메인은 실제 현장에서 40년간 축적한 전문 엔지니어링 기술력과 첨단 IT기술을 바탕으로, 설비 예지보전의 효과와 실제 사례를 살펴보며 스마트 팩토리에서 설비 최적 관

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