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[KOFAS 2023] 듀라소닉, 초음파 기술 적용한 세정장비 라인업 선보여

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반도체, 디스플레이 산업에 고유의 초음파 기술 솔루션 다수 적용

 

듀라소닉이 2023 제조자동화기술전(KOFAS 2023)에 참가해 초음파 기술을 적용한 세정 장비를 전시했다. 

 

KOFAS는 격년으로 열리는 경남지역 대표 제조 자동화 전시회다. 지난 28일부터 7월 1일까지 총 4일간 열리는 이번 전시회에는 140개 기업이 380부스 규모로 열렸으며 자동화·스마트팩토리, 시험검사 및 측정, 로보틱스, IT, 소재·부품 부문에서 다양한 기술과 제품을 선보이고 있다. 

 

듀라소닉이 전시회에서 선보인 장비 중 하나인 '메가소닉 세정 유니트'는 마이크로미터, 나노미터 단위의 미세 공정을 다루는 반도체나 OLED 평판 디스플레이 세정에 적합한 장치다. 메가소닉 세정 유니트는 빠른 입자 가속력에 의해 노즐 내에서 흐르는 유체에 초음파가 실려 세장대상물에 전달한다. 빠른 입자 가속력과 직진성은 회절로 인한 손실이 없으며, 메가소닉 출력으로 고착성 잔여 오염물 제거에 용이하다. 

 

듀라소닉은 초음파 진동자를 국산화 개발로 창업한 회사다. 초음파를 이용한 정밀 세정, 용착, 센서, 유량계, 스프레이, 스크린 등 초음파 산업을 영위하고 있다. 이후 부설 초음파 연구소를 개설 및 확대해 R&D 강화를 통한 혁신 제품 출시에도 박차를 가해왔다. 

 

듀라소닉은 초음파 진동사 및 발진기 기술 노하우를 비롯해 진동해석 기술과 용착기 설계 및 평가 기술을 확보했으며, 특성분석용 연구 장비와 초음파에 대한 양산화 기술을 보유했다. 주요 사업 영역은 반도체 웨이퍼, 디스플레이, 광학렌즈, 메탈마스크, PCB 등이 있다. 


한편, 2023 제조자동화기술전은 오는 7월 1일까지 창원컨벤션센터에서 열리며, 제조 자동화와 관련된 신제품 및 신기술 전시와 함께 디지털 전환에 대한 인사이트를 제공할 부대행사도 마련돼 있다. 오프라인 전시와 함께 메타버스관도 365일 24시간 운영될 예정이다. 

 

헬로티 서재창 기자 |










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