[첨단 헬로티]
AUTO FOCUS MODULE & 0.4UM PIN-HOLE 결함 검출 최적
이오비스는 3D 비전시스템 분야뿐만 아니라 2D 비전시스템 분야에서도 연구개발에 노력을 다하고 있다. 위의 제품은 2019년도 KMVIA 어워드에서 노미네이트에 선정된 만큼 향후 기대가 되는 제품이라고 할 수 있다.
이 제품의 용도는 A.O.I (Automatic Optical Inspection) 즉, 자동 광학 검사 장비에 적용되는 핵심 부품으로서, 제품의 문제 발생시에 상기 광학모듈을 이용하여 이상 여부를 판단하게 해주며, 1um 이하 Sub-micro 초미세 결함을 AUTO FOCUS를 통하여 안정적으로 검출할 수 있는 솔루션이라고 할 수 있다.
각 광학구성품은 먼저 VIEWORKS 18K /12K TDI 카메라(물론 DALSA 12K TDI 카메라도 가능함), Schneider(사) XN-Diamond 5.0X LENS_(with B/S), Auto Focus Module , TC조명계 포함 난반사 조명계, Tilting unit, Filter changer부를 포함하여 총 6가지 구성품으로 되어 있다.
관련 광학계의 특장점이라하면, 세계 최고의 Quality를 자랑하는 Schneider사 DIAMOND 5.0X LENS(with B/S)이며, 최적조리개 f/1.59이며,중앙부, 좌/우 최외곽부에서도 최상의 이미지 Quality를 구현 가능하다.
이 Diamond 5.0X LENS는 이오비스와 공동 개발하여 제작한 제품으로서 이오비스에서 독점으로 공급을 하고 있다. 최적조리개 f/1.59로 High NA로 만든 렌즈이다보니, 심도가 얇은 단점이 있는데, 이를 극복하기위하여 경통내부로 RAY를 입사시켜 반사되어 되돌아 오는 레이저광을 이용하여 트래킹하는 AUTO FOCUS 방식으로 개발 되었으며, 경통 내부로 AUTO FOCUS MODULE이 장착되다보니 구성이 매우 콤팩트하다.
이 광학계는 유한광학계 컨셉으로 Field Of View가 대략 12mm정도로 대시야를 볼 수 가 있다. (대물렌즈 5X LENS로 구성시, MAX Field Of View 5mm인 것에 비해 대략 2.4배정도 넓은 영역을 확보할 수 있음.) 패턴 검사의 기준이 되는 핀홀(backgroud가 밝고 중앙부에 어두운 흑결함을 말함) 결함같은 경우 0.4um~0.5um 초미세결함 검출이 가능하다._(Threshold 10 기준) 추가로, Open/Short성 결함인 경우 0.2um 결함까지 검출 가능하다.
그리고 TC조명은 Telecentric 렌즈를 조명에 적용한 컨셉으로 결함 검출력을 향상 시켰으며,RGB MIXING 조명계가 장착되어, 필요시, R/G/B로 각각 사용이 가능하며, R/G/B 모두 ON 했을시, WHITE광도 구현이 가능하다.
또한 난반사 사각조명 사용시, 난반사 효과를 구현하여 이물이나 S/C성 결함에 탁월함을 보여주고 있다.
현재 이 광학계에 2가지 특허 출원 및 등록이 되어 있다.
a.광학배율 5X로 0.5um Pin-hole 결함 검출 장치 특허 출원 및 등록_(2017.11.09)
b.자동 초점 조절 모듈 및 이를 구비한 표면 결함 검출 장치 특허 출원_(2018.03.26)
관련 광학계 적용분야는 LCD, OLED GLASS 검사,Metal Mask 검사, WAFER 검사, PCB 검사 ,필름 검사 다양한 애플리케이션에 적용될 수 있는 제품이라 할 수 있다.
