반도체 ACM, 中 로직 웨이퍼 팹에 차세대 KrF 트랙 솔루션 공급

ACM 리서치는 반도체 제조 전공정 분야를 지원하기 위해 설계된 자사 최초의 Ultra Lith KrF 트랙 시스템을 출시하고, 중국 로직 웨이퍼 팹 고객사에 첫 장비를 출고했다고 밝혔다. 이 시스템은 ACM의 리소그래피 제품 라인을 확장하는 장비로 높은 생산성, 첨단 열 제어, 실시간 공정 제어 및 모니터링 기능을 제공한다. Ultra Lith KrF 트랙은 ACM ArF 트랙 플랫폼의 검증된 아키텍처와 공정 성과를 기반으로 개발됐다. ArF 플랫폼은 2024년 말 중국 주요 고객사와의 데모 라인 검증에서 옹스트롬 이하 수준의 코팅 균일도, 첨단 열 제어, ASML 스캐너와 부합하는 CD 매칭 성능을 입증한 바 있으며, 이는 KrF 설계 최적화의 토대가 됐다. 데이비드 왕 ACM 리서치 CEO는 “KrF 리소그래피는 성숙 공정 노드 디바이스 제조에 여전히 필수적이며, 그 수요는 전 세계 반도체 생산에서 점점 커지고 있다”며 “ArF와 KrF 트랙을 동시에 제공함으로써 팹 내 원활한 통합과 더 높은 제조 유연성을 지원한다”고 말했다. 새로운 Ultra Lith KrF 트랙 시스템은 12대의 스핀 코터와 12대의 디벨로퍼(12C12D)로 구성된 공정 모듈과 5

• 이창현 기자
• 2025-09-12 13:14