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최신뉴스 인아그룹, ‘반도체 대전 2022’ 참가…고객 맞춤형 솔루션 대거 소개

인아그룹 3개(인아오리엔탈모터·인아엠씨티·인아코포) 계열사가 10월 5일부터 7일까지 사흘간 코엑스에서 열리는 ‘반도체 대전(SEDEX) 2022’에 참가한다. 이번 전시회에서는 ‘NETWORK IN INA’을 콘셉트로 하여 인아그룹의 다양한 제품 연계를 통해 고객 맞춤형 솔루션을 제공할 계획이다. 인아오리엔탈모터는 반도체업계에 적용되는 신규 미니 드라이버, AZ 8축, IMC 8축, 델타 데모기 등 오리엔탈모터 라인업을 소개한다. 회사 부스는 주력 제품의 활용도 및 성능을 살펴볼 수 있는 △신규 제품인 AZD-KRED, AZD-CS3, AZD-CPN, AZD-KR2D로 꾸려진 ‘포인트 존’ △오리엔탈모터의 다양한 통신 제품인 RS-485, Ether CAT, SSCNET, EtherNET IP을 전시하는 ‘네트워크 존’등으로 꾸려졌다. 인아코포는 고객의 요구사항에 맞춰 커스터마이징이 가능한 JEL의 웨이퍼(Wafer) 반송로봇, 대관성의 부하를 감속 기구 없이 회전시킬 수 있는 CKD의 ‘AX6000T’, ‘AX7000T’ 등 다양한 상품을 소개한다. 인아엠씨티 스마트팩토리 사업부는 두산협동로봇의 가반하중 25kg, 작업반경 1,700mm ‘H-Series

임근난 기자

2022-10-05 15:32

테크노트 [Wafer 핸들링 시스템] JEL 반송 로봇 구동 위한 기술 요소/'베르누이 척'에 의한 워크 반송

전자기기류의 경량·소형화, 고기능화가 진행됨에 따라 반도체 IC(Integrated Circuit)의 고집적화에 대한 움직임이 진행되고 있다. 이에 따라, ‘JEL 반송 로봇’이 취급하는 반송 워크도 박형화(薄型化)로 발전하면서 워크 자체의 변형도 커지는 경향이다. 이 워크를 지금까지 이상의 정밀도를 갖고 반송할 필요성이 나오고 있다. ▲ 사진 1. JEL의 Wafer 핸들링 시스템 개발 배경 기존 대표적인 워크의 유지방법으로는 ‘진공흡착 방식(그림 1)’, ‘Passive 방식(그림 2)’, ‘에지그립 방식(그림 3 및 사진 2)’이 있다. 이 같은 기존 방식들은 몇 가지 단점을 가진다. ▲ 그림 1. 기존 ‘흡착 척’의 예 ▲ 그림 2. 기존 ‘Passive 척’의 예 ▲ 그림 3. 기존 ‘에지그립 척’의 예 ▲ 사진 2. 기존 ‘에지그립 척’의 예 진공흡착 방식은 흡착 유지 시, 면압력에 의한 응력 집중으로 워크의 손상이 커진다. Passive 방식은 가이드(홈)에 위치시

2016-04-20 18:09