테크노트 [X-ray 검사기술 5] X-ray 튜브의 활용

‌X-ray Tube의 활용 X-ray 검사기술④(본지 7월호 18∼22P)에서는 Tube의 구조에 관하여 Open Tube와 Closed Tube로 구분해 설명했다. 이를 정리하면 다음과 같다. 만약 분석용 장비에 탑재해서 정밀한 구조를 관찰하는 용도에 사용한다면, Open Tube를 선택해야 한다. 이 때에는 보통 80∼225kV급 관 전압의 튜브가 유통된다. Open Tube는 투과 형과 반사 형으로 구분하며, 투과형의 경우 시료를 Target에 0.3mm 미만으로 근접시킬 수 있어 수 천 배 이상의 고배율 영상 획득에 유리한 반면, 반사 형은 관 전류를 3mA까지 인가할 수 있어 대형 시료의 선명한 영상 획득에 유리하다. 또한 반사 형은 전류 값이 높은 반면, Focal Spot Size가 5㎛ 이상으로 크기 때문에 비교적 큰 크기의 결함(보통 수 십 ㎛ 이상) 검사에 사용된다. 투과 형 open tube는 최소 200nm의 분해능을 보유하므로 1㎛미만 미세구조의 분석도 가능하다. 볼륨과 중량, 필라멘트 수명, 가격 면에서 매우 부담스러운 Open Tube에 비하여 Closed Tube는 비교적 저렴하고 Compact

• 2015-08-21 14:43