최신뉴스 어플라이드 머티어리얼즈, 빅데이터·AI 기반 공정 제어 시스템 공개

[헬로티] 어플라이드 머티어리얼즈가 빅데이터와 AI 기술을 활용한 혁신적인 공정 제어 시스템을 공개했다. ▲어플라이드 머티리얼즈의 공정 제어 신제품 이 시스템은 반도체 제조사가 반도체 칩 개발 및 생산 체계 도달 시간을 단축해 보다 많은 수익을 창출하도록 지원한다. 반도체 기술의 복잡성과 비용이 갈수록 증가하고 있다. 첨단 노드를 개발하고 대량 생산하는 기간을 단축하는 것은 전 세계 반도체 제조사에 수십억 달러의 가치를 제공한다. 이를 위해서는 결함을 검출해 조속히 공정을 개선하는 역량이 요구된다. 오늘날 반도체 선폭이 줄어들면서 예전 노드에서 수율에 영향을 미치지 않던 작은 결함이 수율 저하 요소가 됨에 따라, 결함을 검출해 수정하는 역량을 확보하기가 더욱 어려워졌다. 이뿐 아니라 3D 트랜지스터와 멀티 패터닝 기술과 같은 복잡한 공정 기술이 미묘한 편차를 일으켜 수율 저하 결함 원인을 찾고 수정하는 데 많은 시간이 걸리게 됐다. 어플라이드 머티어리얼즈는 빅데이터와 AI 기술을 핵심 칩 제조 기술에 적용해 공정 제어에 대한 새로운 플레이북을 제시한다. 어플라이드 솔루션은 실시간 연동해 작동하는 것은 물론 기존 방식보다 빠르고 효과적인 비용으로 결함을 검출&

• 서재창 기자
• 2021-04-26 10:45