[헬로티] 한국세라믹기술원, 세계 최고 수준의 2인치급 고품질 탄화규소 단결정기판 제조 한국세라믹기술원(원장 유광수)은 에너지효율소재센터 정성민·신윤지 박사 연구팀이 전력반도체용 탄화규소 단결정 기판 제조기술을 개발했다고 발표했다. 전력반도체 기판으로 활용되는 탄화규소(SiC) 단결정 기판소재는 기존 널리 사용되는 실리콘 기판보다 우수한 열적·전기적 특성을 갖고 있어 고전압·고전류 특성이 필요한 항공·우주·전기차 등 에너지 산업에 적용되기 시작하여 시장이 폭발적으로 증가추세에 있다. 그러나, 재료 특성상 결함이 많아 반도체 집적회로에 적용될 수 있는 고신뢰성의 기판을 제조하는 것이 매우 어려워 결함을 최소화할 수 있는 단결정 성장기술이 필요하다. 사진. 한국세라믹기술원 정성민 박사(우)와 신윤지 박사(좌) 연구팀은 기존의 승화법이 아닌 용액성장법을 통해 직경 2인치급(50mm) 탄화규소 단결정 기판을 제조하였으며, 제곱센티미터당 결함밀도 270개 이하의 고품질의 기판을 제조할 수 있는 원천기술과 공정기술을 개발했다. 용액성장법은 상대적으로 안정적인 열적 평형상태에서 결정을 성장시키기 때문에 결함이 적은 단결
악셀은 고출력 고체레이저 및 의료용 레이저 매질로 사용되는 산화물 단결정 및 체외진단용 의료기기용 섬광 단결정을 연구개발 및 생산하고 있다. 국내 세라믹 소재 시장은 규모 및 수요에 비해 기술경쟁력이 부족한 실정이며 악셀은 고부가가치 단결정 소재 개발을 통해 핵심소재의 원천기술 확보 및 전/후방 산업 성장을 위한 선두기업을 목표로 노력하고 있다. 김연주 기자 (npnted@hellot.net)
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