글로벌 병렬 피에조 정렬 엔진, 포토닉 웨이퍼 테스트 고속화

병렬 소형 피에조 전기 정렬 엔진과 플라이 하이트 센서를 결합한 플랫폼이 포토닉 집적회로 웨이퍼 테스트 속도를 높이고 생산 환경에서의 자동화를 지원하고 있다. 이 플랫폼은 하나의 웨이퍼 상에서 여러 개의 소형 정렬 엔진을 병렬로 운용하도록 설계돼, 여러 테스트 지점에서 동시에 전기·광학 프로빙을 수행함으로써 처리량을 높이고 테스트 비용을 낮추도록 구성돼 있다. 또한 자동화 테스트 장비와 호환되는 콤팩트한 아키텍처를 채택해, 하나의 셋업에 많은 정렬 장치를 도입하는 것을 실용적으로 만들도록 의도됐다. 이를 통해 포토닉 집적회로(EPIC) 제조사가 실험실식의 순차 정렬 방식에서 대량 생산에 적합한 반복 가능한 웨이퍼 수준 테스트로 전환하는 것을 지원하는 구조다. 이 플랫폼의 핵심 신규 기능으로는 FAU 레이징이 소개됐다. 이는 간섭계를 기반으로 한 플라이 하이트 측정 방식으로, 기존 광섬유 채널을 활용해 관심 지점에서의 섬유와 웨이퍼 간 거리를 측정하며, 추가 하드웨어나 추가 설치 공간 없이 안정적인 프로빙과 반복 가능한 광학 결합을 지원한다. 제조사 PI는 FAU 레이징이 트렌치 기반 포토닉 엣지 커플링과 같은 향후 접근법도 가능하게 해, 웨이퍼 면적을 절약하

• 헬로티
• 2026-01-23 19:10