최신뉴스 KRISS-파월코퍼레이션, 평판형 플라즈마 측정 기술 기술이전 협약식 개최

헬로티 김진희 기자 | 한국표준과학연구원(KRISS)은 지난 17일 연구원 행정동에서 ㈜파월코퍼레이션과의 기술이전 협약식을 개최했다. 이번에 기술이전 계약을 체결한 플라즈마 측정 기술은 반도체·디스플레이 공정에 사용되는 플라즈마 변수를 실시간으로 측정하는 기술이다. 반도체 핵심 공정에 사용되는 플라즈마의 상태를 측정하고 안정적으로 유지하는 것은 매우 중요하다. 반도체의 생산성·수익성의 척도인 수율은 곧 반도체 생산 공정의 안정성에 달려있기 때문이다. 기존 플라즈마 측정 센서는 변수를 직접 측정하는 것이 아닌 웨이퍼의 온도 혹은 전압 균일도를 측정하는 간접 측정 방식을 사용했다. 간접 측정 센서는 공정을 멈추고 센서를 삽입해 측정하는 방식이므로 공정 이상을 실시간으로 감지하기 어렵고, 수율을 떨어뜨린다는 단점이 있었다. KRISS 이효창 선임연구원·김정형 책임연구원이 개발한 플라즈마 측정 기술은 가동 장비를 멈추지 않고도 공정에 사용되는 플라즈마 밀도값 및 균일도를 실시간으로 측정할 수 있으며, 측정 불확도 또한 2% 이내로 세계 최고 수준이다. 이번 기술이전을 통해 양 기관은 평면형 플라즈마 측정 기술이 적용된 정전 척(ESC) 개발에 힘을 모을 예정이다.

• 김진희 기자
• 2022-01-23 10:18