반도체 파티클 제어 전문기업 제덱스가 나노급 초미세 공정에 대응하는 차세대 검사 시스템 ‘M802ESC’를 출시했다. 제덱스는 정전척(ESC), 스퍼터링 타겟, FOUP 등 기존에 정량적 파티클 검사가 어려웠던 공정 핵심 부품까지 분석할 수 있는 장비를 신규 개발했다고 19일 밝혔다. M802ESC는 기존 M2000ESC의 차세대 모델로, 대형·고중량 구조와 높은 표면 정밀도로 인해 기존 방식으로는 평가가 쉽지 않았던 부품을 대상으로 설계됐다. 직경 610mm 이내 시료 대응이 가능하며, 최대 50kg 하중 설계를 적용해 대형 부품 검사 수요를 반영했다. 입자 검출 성능도 강화됐다. 기본적으로 0.1µm 이상 입자 검출이 가능하며, 옵션 적용 시 10nm 센서를 통해 극초미세 파티클까지 계수할 수 있다. X·Y·Z 로봇 제어 기반 스캔 노즐 방식을 채택해 표면의 약 90% 영역을 균일하게 검사한다. 비접촉 방식의 고효율 입자 추출 시스템도 적용했다. 특허 기반 회수 헤드와 입자 확산 방지 구조를 통해 검사 중 2차 오염을 차단했으며, ULPA 필터 기반 Class 1 초청정 환경을 유지해 데이터 신뢰도를 확보했다. 제덱스는 M802ESC 출시로 정전척, 스퍼
26일 창원본원서 국내 최대 규모 ‘e-나노소재 화학/습식공정 플랫폼 착공식’ 개최 첨단 E-모빌리티와 미래형 스마트 전자기기 시대를 앞당길 전기 신소재·부품 분야 연구개발 활성화 및 기술 자립을 실현하기 위한 대형 인프라가 구축된다. 한국전기연구원(이하 KERI)은 26일 창원본원에서 고부가가치 스마트 전기 신소재 및 부품 개발을 위한 190억원 규모의 ‘e-나노소재 화학/습식공정 플랫폼 착공식’을 개최했다. 4차 산업혁명 시대 도래에 따라 우리가 사용하는 대부분의 제품에 전기화가 진행되고 있다. 특히 전기·수소차, 전기선박, 플라잉카/드론 등 E-모빌리티와 웨어러블 기기와 같은 스마트 전자기기 분야에서 이러한 상황이 가속화되고 있는데, 이를 지원할 전기 신소재·부품 개발은 e(전기기능)-나노소재의 활용으로부터 시작된다. 반도체나 디스플레이가 건식 중심의 대형 나노공정 장비를 기반으로 한 대기업형 분야라면, e-나노소재 기반의 전기 신소재 개발은 중소·중견기업 중심의 다품종 소량생산 방식으로 화학/습식공정이 많이 활용된다. 하지만 국내에는 이러한 화학/습식공정을 지원할 구심점(인프라)이 거의 없어 기업들의 기술 경쟁력 향상을 가로막는 큰 원인 중 하나였다.
헬로티 이동재 기자 | 국내 최대규모의 나노기술인과 나노융합기업의 교류·협력의 장이자 세계 3대 나노행사인, ‘나노코리아 2021’이 7일부터 3일간 경기도 킨텍스에서 개최된다. 올해로 19회를 맞이하는 ‘나노코리아’는 산업통상자원부와 과학기술정보통신부가 공동 주최하고, 나노융합산업연구조합과 나노기술연구협의회가 주관한다. 삼성, LG, KIST, ETRI 등 270개 기업(기관)이 475개 부스에서 나노융합기술 및 관련분야(스마트센서, 접착․코팅․필름, 레이저, 첨단세라믹)의 첨단융합기술과 응용제품을 전시하고 특히, 나노융합기술 분야에서는 기존 소재 대비 높은 성능을 구현하는 나노신소재와 신소재 제조의 기반이 되는 나노공정 및 측정․분석장비, 삼성전자의 최신 메모리반도체, LG의 생분해성 플라스틱 소재 등을 소개한다. 나노융합 연구개발(R&D) 성과 홍보관에서는 한국형 뉴딜 실현을 위한 나노기술을 주제로 정부 나노 연구개발 성과물 53종이 전시된다. 한편, 전시장 내 오픈 강연장에선 ‘차세대 배터리와 나노융합기술’을 주제로 삼성전자, LG에너지솔루션 등 10개 기업이 참여해 배터리의 성능을 획기적으로 높이는 CNT 등 나노소재 및 부품 개발 방향을 함
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