일반뉴스 SK하이닉스, 반도체 공정에 AI 솔루션 도입…생산 수율 개선

SK하이닉스는 반도체 공정에 인공지능(AI) 솔루션을 도입해 생산 효율 및 수율 개선에 나섰다고 10일 밝혔다. SK하이닉스가 투자한 산업 AI 전문 기업 가우스랩스가 작년 11월 출시한 가상 계측 솔루션 '판옵테스 VM'을 12월부터 양산 팹(반도체 생산공장)에 도입했다. 제조 공정 결과를 센서 데이터를 활용해 예측하는 판옵테스 VM을 우선 도입한 박막 증착 공정은 웨이퍼 위에 박막을 씌우는 핵심 공정이다. 박막 두께와 굴절률은 반도체 품질과 직결되지만, 미세한 박막에서 이를 계측하려면 많은 시간과 자원이 소요돼 전수 계측이 어렵다. 이를 해결하고자 도입한 판옵테스 VM을 통해 공정 산포(생산된 제품의 품질 변동 크기) 평균 21.5% 개선 효과를 얻었다. SK하이닉스와 가우스랩스는 박막 증착 외 다른 공정으로도 판옵테스 VM 도입을 확대할 계획이다. 김영식 SK하이닉스 제조·기술 부사장은 "가우스랩스와 협력을 통해 한층 지능화된 스마트팩토리 구현에 힘쓰고 있다"며 "반도체 개발 및 생산 전반에 AI 기술을 접목해 기술 우위를 지속 확보해 나갈 것"이라고 말했다. 헬로티 이창현 기자 |

• 이창현 기자
• 2023-01-10 12:45