esmo Group(esmo AG 이하 esmo)이 반도체 테스트 자동화 솔루션 ‘아폴로 쿼드 핸들러(Apollo Quad Handler 이하 아폴로)’를 시장에 내놨다. 아폴로는 반도체 테스트 공정을 타깃으로 설계됐다. 반도체 제조사, 반도체 패키지 테스트 업체(OSAT) 등이 반도체 제조 공정 내 최종 테스트 과정을 최적화할 수 있는 기술이다. esmo에 따르면 이 솔루션은 유연성·안정성·에너지효율 등 반도체 업계에 뿌리내린 트렌드를 충족하는 차세대 솔루션으로 주목받고 있다. 단일 칩에 혼합 기능을 탑재한 ‘SoC(System on a Chip)’, 인공지능 인프라를 위한 ‘AI 칩’ 등 고집적 반도체 테스트에 활용 가능하다. 이번 신모델은 범용 입출력(I/O) 인터페이스를 채택해 유연한 모듈 구성과 설치·운영 확장성이 확보됐다. 아울러 쿼드 규격은 가로·세로 2.5mm부터 50mm, 단일 규격은 최대 가로·세로 각각 125mm·120mm의 제품을 취급한다. 가동 온도 범위는 –80~225°C다. 사이먼 무르나우어(Simon Murnauer) esmo 연구개발(R&D) 매니저는 “아폴로 쿼드 핸들러는 연결성·통합성이 강조되는 최근 트렌드에 발맞춰
반도체 기반 전자 산업은 다양한 제품을 만들기 위해 안정적인 고품질 마이크로칩을 사용해야 한다. 때문에 반도체 칩 제조 공정은 일관적이어야 하고 결함이 없어야 한다. 반도체 제조업체는 최고의 생산 표준을 유지하기 위해 자외선(UV) 카메라가 탑재된 검사 시스템을 비롯해 다양한 품질 관리 도구를 사용하고 있다. UV 이미지 센서가 탑재된 카메라는 표면에서 UV 파장이 확산 반사되는 점을 활용한다. UV 이미지는 다른 검사 방법에서 놓칠 수 있는 미세한 표면 결함과 불일치를 감지할 수 있는 시각적 정보를 제공한다. 본 JAI 백서에서는 반도체 산업의 다양한 검사 애플리케이션에 따른 UV 카메라 기술 활용법을 소개한다. 뿐만 아니라 반도체 산업 애플리케이션을 위한 UV 카메라 선정 시 고려해야 할 주요 요소에 대해 살펴본다. 헬로티 함수미 기자 |