반도체 이엠에스, IGS 가스필터용 금속분말 국산화 성과 인정받아

이엠에스(EMS)가 7월 3일부터 5일까지 일산 킨텍스에서 열린 ‘나노코리아 2025’에서 ‘나노산업기술부문’ 한국산업기술진흥원장상을 수상했다. 이엠에스는 에너지, 신소재, 스마트 기술을 핵심 분야로 연구개발과 사업화를 활발히 추진하고 있는 스타트업이다. 설립 3년 만에 총 23건의 특허 출원 및 등록, 반도체 가스필터 소재 분야 레전드 50+ 참여기업으로 선정되는 등 빠른 성과를 내고 있다. 고순도 금속분말, 특수 합금 및 기능성 코팅 분야에서 뛰어난 기술력을 바탕으로 국내 첨단 소재 산업의 국산화와 경쟁력 강화에 기여하고 있다. 이번 수상은 이엠에스가 개발한 반도체 생산장비 IGS 가스필터용 금속분말(플레이크)의 국산화 성과와 기술적 우수성을 인정받은 데 따른 것이다. 해당 제품은 기존 전량 수입에 의존하던 고순도 금속 플레이크 분말을 대체할 수 있는 기술로, 반도체 제조 공정의 핵심 부품인 가스필터의 성능과 신뢰성을 높이는 데 기여했다. 이엠에스의 플레이크 분말은 수입산 대비 산화도가 낮고 형상 안정성이 우수해 다공체 성형 시 불량률을 줄이고 저온 소결이 가능하다는 강점이 있다. 이를 통해 필터의 기공율 제어가 용이해지며, 필터 내부에서 3nm 이하 입

• 이창현 기자
• 2025-07-09 11:13