일반뉴스 시원광기술, 고배율 대면적 검사를 위한 무한 결상 광학계

반도체 미세공정과 집적화로 인해 검사장비는 초미세 패턴을 검사할 수 있도록 하기 위해 카메라와 렌즈의 해상도가 점차적으로 높아지고 있다. 이와 함께 공정 효율성을 높이고 검사시간을 단축하기 위해 카메라의 프레임 속도는 점점 높아지고, 카메라의 검사영역(Field of view) 또한 점점 커지는 추세다. 해상도와 FOV는 카메라에 장착된 대물렌즈에 의해 결정되며, 더 높은 해상도와 더 넓은 FOV를 구현하기 위해 많은 형태의 대물렌즈가 개발되고 산업에 적용되고 있다. 고배율 대물렌즈는 고해상도를 가지는 큰 장점을 가진 반면, 검사하는 영역이 좁은 한계를 가지고 있으며, 이와 반대로 넓은 FOV를 가지는 대물렌즈는 배율이 낮고 해상도 또한 낮다. 고배율과 넓은 FOV를 동시에 구현하기 위해서는 이미지 영역이 넓은 센서를 적용하는 방법밖에 없으며, 반도체 기술이 발전해 가면서 카메라 센서의 사이즈 또한 계속해서 증가하는 추세다. 최근 대면적 검사를 위해 이미지 크기 82mm의 TDI 센서 카메라가 개발되어 넓은 FOV를 가지는 검사장치가 조금씩 나오고 있다. 그러나 넓은 이미지 크기를 가지는 센서에 대응할 수 있는 고배율 대면적 검사가 가능한 대물렌즈는 수요를

• 함수미 기자
• 2023-11-17 14:18