기본분류 [스마트팩토리+오토메이션월드 2021] 마이크로포어, 투과율 높은 다공성 세라믹 진공척 전시
헬로티 이동재 기자 | 마이크로포어가 ‘스마트공장·자동화산업전 2021(Smart Factory + Automation World 2021)’에서 다공성 세라믹 진공척 제품을 선보였다. 스마트공장·자동화산업전 2021은 9월 8일(수)부터 10일(금)까지 서울 코엑스에서 열리는 아시아 최대 규모 스마트공장 및 자동화산업 전문 전시회다. 기존의 금속 흡착판을 미세 기공을 갖는 다공성 세라믹으로 대체한 진공척 제품으로, 투과율이 매우 높으며 균일한 부착력을 갖는 것이 특징이다. 마이크로포어는 550 x 550 이상의 대면적으로 제작이 가능하며, 열충격 진공척 등 특수 진공척도 제작되고 있다고 밝혔다. 마이크로포어는 다공성 세라믹 진공척 제품뿐 아니라 부상 유닛과 무분진 단열재 제품도 전시했다. 다공성 세라믹을 이용한 에어 부상 유닛은 피부상물의 무게에 맞춰 기공 구조를 제어함으로써 내부 공기압, 유량, 부상 거리 등을 조정한다. 소결 세라믹 소재를 베이스로 하기 때문에 카본 소재 등을 사용해 제작하는 기존 제품보다 비산 미세 입자가 발생하지 않는 것이 특징이다. 세라믹폼 무분진 단열재의 기공률은 최대 90%이며, 3HS의 경우 열전도율은 200℃~800 ℃ 범위