ASML·니콘, 심자외선(DUV) 노광장비의 중국 수출 차단할 것으로 보여 ASML은 네덜란드가 일본과 함께 미국의 대 중국 반도체 장비 수출 통제에 동참하는 것이 올해 실적에 큰 영향을 주지 않을 것이라고 29일(현지시간) 전망했다. 블룸버그통신에 따르면, ASML의 대변인 모니크 몰스는 이메일을 통해 "현재 시장 상황을 종합하면 이런 조치들은 우리가 공표한 2023년 실적 전망에 의미 있는 영향을 주지 않을 것"이라고 내다봤다. 그는 "세계 반도체 산업에 더 이상의 혼란을 주지 않기 위해 현재 필요한 것은 산업의 안정성과 신뢰성"이라고 강조했다. 몰스는 "정부 간에 합의가 이뤄진 것으로 알고 있으며, 첨단 노광장비를 포함해 첨단 반도체 장비 기술에 초점이 맞춰져 있는 것으로 이해하고 있다"고 말했다. 그는 "이 규제가 발효되기 위해서는 구체화하고 법제화돼야 하므로 시간이 걸릴 것"이라고 덧붙였다. 미국 정부는 지난 27일 워싱턴DC에서 네덜란드·일본과 일부 첨단 반도체 장비의 중국 수출 규제에 합의했다고 소식통들은 전했다. 미국은 지난해 10월 중국 기업에 대한 미국산 첨단 반도체 장비 판매를 금지하고 AI와 슈퍼컴퓨터에 사용되는 반도체의 수출을 제한하는
헬로티 김진희 기자 | 새로운 방식의 심자외선(DUV·deep-ultraviolet) 발광다이오드(LED)가 포항공과대학교(포스텍) 연구진에 의해 개발돼 앞으로 살균 등 의료·위생 분야에 응용이 기대된다. 23일 포스텍에 따르면 이 대학 신소재공학과 김종환 교수와 통합과정 송수범·윤상호 씨 연구팀이 그래핀(graphene)층 사이에 육방정 질화붕소(hBN)층이 낀 적층 구조를 기반으로 심자외선을 내는 LED 소자를 제작했다. 이 연구 내용을 담은 논문은 국제학술지 '네이처 커뮤니케이션스'에 이달 8일 발표됐다. 심자외선은 파장이 200∼280나노미터(nm)인 자외선으로, 투과 능력이 비교적 낮아 인체 피부 등에 해로운 영향이 적으면서도 표면의 바이러스나 세균 등 병원체를 사멸시킬 수 있어 살균 등 의료·위생 용도로 널리 쓰인다. 지금까지 심자외선을 내는 장치로는 주로 수은 램프나 질화알루미늄 갈륨 소재 기반 LED가 쓰였으나, 전자는 환경오염 문제가 있었고 후자는 소재 특성상 발광 효율 등에 한계가 뚜렷했다는 것이 연구진의 설명이다. 김종환 교수는 "차세대 신소재로 주목받는 그래핀과 육방정 질화붕소를 이용해서 최초로 심자외선 LED를 구현했다는 점에서 의미가