EDA 포트폴리오에 AI 계측·검사 기술 통합해 ‘디지털 스레드’ 확장… 첨단 공정 수율 향상 및 양산 시간 단축 기대
지멘스가 AI 기반 반도체 계측 솔루션 스타트업을 전격 인수하며 차세대 반도체 제조 시장의 주도권 강화에 나섰다.
지멘스 디지털 인더스트리 소프트웨어는 프랑스의 혁신 기업 ‘카노푸스 AI(Canopus AI)’를 인수하고, 자사의 전자설계자동화(EDA) 포트폴리오에 인공지능 기반의 계산 계측 및 검사 기술을 통합한다고 발표했다. 이번 인수로 지멘스는 나노미터 단위의 초미세 공정에서 필수적인 고정밀 디지털 트윈 비전을 한층 구체화할 수 있게 됐다.
반도체 소자 구조가 극도로 미세해지면서 기존의 방식으로는 품질과 수율을 확보하는 데 한계가 있었다. 카노푸스 AI는 2021년 설립 이후 AI를 활용해 계측(Metrology)과 검사(Inspection) 워크플로우를 하나로 잇는 ‘메트로스펙션(Metrospection)’ 기술을 선도해왔다.
지멘스는 카노푸스 AI의 기술을 자사 리소그래피 및 물리 시뮬레이션 툴인 ‘Calibre(칼리버)’ 포트폴리오에 결합할 예정이다. 이를 통해 웨이퍼 패턴의 정확도를 개선하고, 제조 과정에서 발생하는 기술적 과제를 지능적으로 해결하는 ‘종단간(End-to-End) EDA 디지털 스레드’를 구축한다는 전략이다.
토니 헴멜가른 지멘스 디지털 인더스트리 소프트웨어 사장 겸 CEO는 “이번 인수는 산업용 AI를 활용해 반도체 제조의 핵심 과제를 해결하겠다는 지멘스의 강력한 의지”라며 “고정밀 디지털 트윈을 통해 서브 나노미터 공정 제어와 마스크 개발을 가속화하고, 첨단 노드의 양산 시간(Time-to-market)을 획기적으로 단축할 것”이라고 강조했다.
카노푸스 AI의 조엘 알라니스 CEO는 “지멘스의 광범위한 EDA 커뮤니티에 합류하게 되어 기쁘다”며 “양사의 결합된 기술력은 반도체 설계 및 제조의 한계를 넓혀가는 혁신가들에게 가장 강력한 검사 기술을 제공하게 될 것”이라고 밝혔다.
업계에서는 이번 인수가 지멘스의 반도체 제조 생태계 내 입지를 공고히 하는 것은 물론, 급변하는 반도체 산업의 정밀도 요구사항을 충족하는 핵심 교두보가 될 것으로 내다보고 있다.
헬로티 김진희 기자 |





