“반도체 디스플레이 생산위한 친환경 제어기술 중심”

“내년은 올해 사업을 내실화...기업 친화 서비스도 개발”

성균관대학교 반도체/디스플레이 생산기술 UNIC의 채승기 교수는 기업체 교육, 기업 컨설팅, 산학공동 기술개발 과제 발굴, 분석지원 등을 주요 서비스로 지원하고 있다고 말했다. 채승기 교수는 이를 위해 친환경 제어기술 중심의 다양한 기술과 서비스를 경기도 내 전문기업 대상으로 제공하고 있으며, 내년에는 내실화에 주력하겠다고 밝혔다. 다음은 채승기 교수와의 일문일답이다.

 

성균관대학교 반도체/디스플레이 생산기술 UNIC의 채승기 교수는 친환경 제어기술 중심의 기술과 서비스 제공에 주력하고 있다고 말했다.

- 반도체/디스플레이 생산기술에 대해 설명 부탁드립니다

반도체/디스플레이 제품 생산을 위한 기반 기술은 크게 6가지입니다. 장비평가기술, 소재평가기술, 분석계측기술을 비롯해 부품진단기술, 환경인프라 진단기술, 공정진단기술 등입니다. 이들은 모두 ‘제로 오염’이나 ‘제로 Particle’을 지향하는 친환경 제조기술이라고 설명할 수 있습니다. 반도체/디스플레이 생산기술 UNIC(이하 반디생 UNIC)은 이 같은 기술을 기반으로 다양한 활동을 진행하고 있지요.

- 반디생 UNIC의 활동은

우리 UNIC은 분석계측, 장비, 부품, 소재 분야의 전문기업으로 구성되어 있습니다. 이들을 대상으로 기업체 교육, 기업 컨설팅, 산학공동 기술개발 과제 발굴, 분석지원 등을 주요 서비스로 지원하고 있습니다.

우선 기업체에게 초미세 소자 생산 장비 모듈 트랙, 기술 교류회 등을 진행하고 있지요. 아울러 생산기술 전문인력, 클린룸 실시간 환경 평가, 공정진단이나 In-Situ Particle 분석 컨설팅을 제공하고 있습니다.

또한 애로 사항 산학 과제나 정부과제 공동 참여도 추진하고 있으며, 현장 밀착형 과제를 개발하고 진행하고 있어요. 이밖에도 성균관대 공동기기원을 활용한 분석지원 서비스도 제공하고 있습니다.

- 기업체 교육은 어떻게 운영하고 있나요

기업 맞춤형 인력 양성, UNIC 가족회사 대상 기술 포럼, Particle/Micro 오염 제어 단기 강좌 등 3가지로 추진하고 있습니다. 기업 맞춤형 인력 양성의 경우, 초미세 소자 생산장비 트랙을 운영하고 있지요. 기계공학과 대학원 석사과정인데 UNIC 9개 가족회사가 참여하고 있어요. 1년 장학금도 드리고 있어요. (웃음)

반도체/디스플레이 장비, 생산기술 2과목을 개설해 현업 전문가를 초빙해 강의하고 있어요. UNIC 가족회사 대상 기술 포럼도 활발하게 진행하고 있는데 소재, 장비, 환경, 분석, 계측 분야 전문가를 초빙해 차세대 생산기술과 공정기술을 소개하고 있습니다. 

Particle /Micro 오염 제어기술의 경우는 2일 교육의 단기 강좌로 현장 엔지니어를 대상으로 한 교육 프로그램입니다. 

반도체/디스플레이 기업의 전문인력 조기 확보 지원을 위해 기업과 학교 간 사업에 주력한다고 설명하는 채승기 교수.

- 컨설팅도 주요 사업 중 하나인가요

네. 그렇습니다. 기업체 대상 주요 컨설팅 분야는 Particle/오염제어기술, In-situ 공정진단, FAB 환경진단, 박막 물성 평가 기술 등이 있습니다. Particle/오염제어기술은 WF 표면 Particle 분석, 장비  Particle 샘플링과 성분 분석, Nanoparticle 분포 , 사이즈 평가 등이 있지요. 

In-situ 공정진단의 경우, 공정 중 Particle 생성 메커니즘 규명, In-Situ 클리닝 공정 최적화, 공정  가스 리액션 메커니즘 등을 조사하는 일에 주력하고, FAB 환경진단은 클린룸 환경 모니터링(AMC), 보건 및 환경 물질 실시간 모니터링, FAB 환경 오염 KS 표준화 등을 진행화고 있으며, 박막 구조 분석, 박막 조성 평가, 박막  Roughness, 전기적 특성 평가, 박막 결정성 및 스트레스 평가 등의 박막 물성 평가 기술도 컨설팅하고 있습니다.

- 대표적인 컨설팅 사례는

가령 In-situ, Particle 진단에서 실시간 Particle 크기 분포를 확인하는 PBMS(Particle Beam Mass Spectrometry)이나 플라즈마 내의 이온의 종류 및 상대적 밀도를 분석하고 반응성 레디컬의 공정 중 거동 및 오염 평가, 반응 조건에 따른 반응 메커니즘을 규명하는 In-situ Reaction 가스 분석을 진행했습니다. 이밖에도 웨이퍼 표면 스캐너 계측 등을 비롯한 다양한 분야에 전문 컨설팅을 추진하고 있어요. 

- 산학 공동 기술 개발 과제에 대해 설명해주십시오

성균관대 UNIC은 이미 확보된 인프라를 통해 학생 현장 실습 파견과 취업, 특허와 기술 이전, 맞춤형 재직자 교육, 단기 강좌 등을 진행하고 있습니다. 이에 통해 협력기업은 전문인력을 조기에 확보할 수 있겠고요. 

우리 UNIC에서는 산업체에 파견이 가능한 필요 기술을 개발하고 이를 위한 전문인력을 조기 육성하는 데 주력하고 있습니다. 올해는 매칭 펀드를 기반으로 산학 공동기술개발 과제를 진행하고 있어요.

- 학교 내 공동기기원과의 협력사업도 추진하고 있으시지요

우리 UNIC은 성균관대 공동기기원과 협력해 분석 지원 서비스를 제공하고 있어요. 이를 통해 표면, 미세구조, 화학분석 등 분석 기기 활용을 극대화하고, 학술 연구 및 중소기업 기술 경쟁력을 강화하는 한편, 반도체 디스플레이 분야 분석기술 경쟁력 확보와 대내외 분석기관 협력 종합 분석 시스템을 구축하려고 합니다.

현재 분석 서비스를 연계한 멤버십을 모집하고 있어요. 여기에는 종합 분석 서비스를 기반으로 데이터 신뢰성 확보와 해석을 제공하고 7일 이내에 분석 결과를 제공하는 사업이지요. 관련 기업의 관심이 큽니다.

- 향후 계획은

미국의 경우처럼 학교와 학교가 같이 하거나 여러 기업이 함께하는 것은 아직 이른 것 같지만 이를 위한 고민을 놓지 않을 생각입니다. 또한 내년에는 올해 진행했던 다양한 사업들의 내실을 기하는 것에 집중할 예정입니다. 회원 기업 확장도 주요 미션이고요.