[스마트팩토리+오토메이션월드 2021] 한백정밀시스템, 반도체 검사장비 웨이퍼 진공척 등 부품 전시

2021.09.11 11:26:27

이동재 기자 eltred@hellot.net

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헬로티 이동재 기자 |

 

 

한백정밀시스템이 ‘스마트공장·자동화산업전 2021(Smart Factory + Automation World 2021)’에서 반도체 검사장비 웨이퍼 진공척 등 제품을 전시했다.

 

스마트공장·자동화산업전 2021은 9월 8일(수)부터 10일(금)까지 서울 코엑스에서 열리는 아시아 최대 규모 스마트공장 및 자동화산업 전문 전시회다.

 

 

 

전시된 웨이퍼 진공척은 반도체 후공정 검사장비에 장착되는 제품으로, 고정도 검사을 위한 웨이퍼 고정 척이다. 검사공정에 따라 가열척과 냉각척으로 구분되며 냉각척의 경우, 척 내부에 냉각유로를 생성하기 위해 상, 하판으로 구분 가공 후 브레이징해 후처리한다.

 

한백정밀시스템은 자동계량시스템 및 분말충진기, 밴드실러 그리고 이송기까지 공장 자동화기계 설비를 전문으로 하고 있는 기업이다.

 

한편 첨단, 한국산업지능화협회, 한국머신비전산업협회, 코엑스가 공동주최하는 이번 전시회는 ‘디지털뉴딜의 미래(The Future of Digital New Deal)’라는 주제 하에 약 500개사 스마트공장, 머신비전, 자동화 기업이 참가하여 1,800개 부스에서 최신 스마트 제조 기술을 선보이고 있다.

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