[첨단 헬로티]

이오비스(대표 김종환)가 16K TDI 고해상도 라인스캔 카메라인 82mm 센서 포멧에 대응할 수 있는 자동초점 광학모듈 Auto Focus 모듈을 개발하였다.

 

이 자동초점 광학모듈은 이오비스와 독일 슈나이더사의 합작으로 ‘Kelly-Diamond 3.33배 렌즈’가 적용되었는데 이 Kelly-Diamond 3.33배 렌즈는 유한 광학계 컨셉으로 배율 3.33배 렌즈로 픽셀 해상도 1.5µm 구현이 가능하도록 개발되었다.

 

16K TDI 라인스캔 카메라 적용 시 FOV는 최대 24.5mm까지 가능하며, 최적 조리개 f/2.1로 이미지의 중앙부와 최외곽부까지 전영역에서 선명한 최상의 영상 품질을 구현한다. 

 

새롭게 개발된 자동초점 광학모듈은 16K TDI 고해상도 라인스캔 카메라를 대응할 수 있도록 Kelly-Diamond 3.33배 렌즈를 통하여 0.7µm이상의 Pin-hole결함 검출이 가능하며, 광삼각법 반사 자동초점 방식과 Rayfolding 자동초점 방식 모두 적용 가능하도록 개발되었다.

 

 

 

 

그림2. Kelly-M Diamond 3.33배 렌즈 설계 데이터

그림3. Kelly-M Diamond 3.33배 렌즈 적용 0.7um 이상 Pin-hole 결함 검출 가능.
- Kelly-Diamond 3.33배 렌즈로 0.7μm 이상 Pin-hole 결함 검출 가능함. (@Background 200GL, Threshold 15)
- IOVIS Optimization illumination ( T/C 조명)

 

한편, 이오비스는 자동초점 광학모듈에 대한 ‘광학배율 5배로 0.5µm Pin-hole 결함 검출 장치” 특허 출원 및 등록을 완료했으며, ‘자동 초점 조절 모듈 및 이를 구비한 표면 결함 장치’ Rayfolding 광학방식으로 이오비스 특허 기술을 보유하고 있다. 

 

AF방식은 고속카메라로 이미지를 취득한 한 후에 이 이미지로 레이저의 변위량 분석하여 빠른 속도로 Detection 하는 장치다. 이 AFM을 포함한 광학모듈 장치는 한 플레이트에 카메라, 렌즈, AFM, 동축부, 조명부, 렌즈 셋팅 Unit을 모두 장착한 토탈 솔루션으로 제공하며, 픽셀 해상도 1.0um에서 0.4~0.5um 크기의 Pin-hole 결함의 검출이 가능하다.

 

또한, 2019년 한국머신비전산업협회의 우수기술에 선정되어 그 기술력을 인정받았으며, 현존하는 최고 수준의 광학기술을 구현하여 Wafer 검사 및 마이크로 LED 디스플레이 검사 등 초정밀 검사 분야에서 활용되고 있다.

 

이오비스는 최첨단 머신 비전 산업 분야에서 세계적인 기술 프로젝트를 개발하여 2D, 3D 비전 광학계 및 SW를 컨설팅, 연구개발, 공급하며 고객사의 비전시스템 기술 업그레이드를 지원하고 있다.