Archer 500LCM 오버레이 계측 시스템은 생산 과정의 전 단계에 걸쳐 정확한 오버레이 오류 피드백을 제공함으로써, 칩메이커가 다중 패터닝, 스페이서 피치 스플리팅 등의 혁신적인 패터닝 기법을 적용할 때 발생하는 오버레이 문제를 해결하는 데 도움을 준다. 전체 공정을 특성화하고 모니터링해 최적의 패터닝 결과를 이끌어내는 5D 제어 솔루션의 핵심 제품이다.
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