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칼럼 COMIZOA 초음파 유량 제어기 ‘COMI-ULFC’

유량계는 기체 또는 액체의 단위 시간당 유량(질량 또는 체적)을 측정하는데 사용되는 장치로, 주로 정확한 유량 모니터링이나 유량 제어를 위하여 사용된다. 여기에는 마그네틱 유량계, 코리올리 유량계, 초음파 유량계, 차압 유량계, 용적식 유량계, 터빈 유량계, 와류 유량계, 기타 유량계 등 다양한 종류의 유량계가 있다. 커미조아의 ‘COMI-ULFC’는 초음파 유량제어기로, 한 쌍의 초음파 센서를 이용한 유량계센서, 유량계측 및 제어를 통합한 유량제어기로 구성되며 반도체 제조공정에서 사용되는 다양한 약액의 유량계측 및 제어에 사용될 수 있다. 유량계 센서부는 약액과의 직접적인 접촉이 이루어지지 않도록 하여 반도체 미세공정에 필수적인 파티클 오염 문제를 해소하였으며 내열성 및 내화학성이 우수한 PFA(Perfluoroalkoxy) 소재로 개발했다. 유량계 계측 및 제어부는 초음파 구동신호발생, 초음파 수신신호 ADC(Analog Digital Conversion), 신호처리 및 TOF(Time Of Flight), 유량계산을 수행하며 기존 시스템들과는 다르게 원칩 솔루션(onechip solution)으로 개발되어 개별 회로 구성에 따른 노이즈와 타이밍 문제를

커미조아

2023-03-23 09:18

테크노트 커미조아, EtherCAT 슬레이브 I/O 시리즈와 멀티포트 시리얼 보드 출시

커미조아는 지난 2014년 초, PCI 타입 EtherCAT 마스터 보드를 개발했다. 제품 개발 이후 약 2년간 장비업체와의 제휴를 통한 필드테스트로 제품의 안정성과 기능을 검증했다. 또한, 커미조아는 고객의 다양한 니즈를 만족시키고자 여러 가지 타입의 슬레이브 제품을 지속적으로 개발, 출시하고 있다. 한편, EtherCAT 슬레이브 I/O 시리즈 출시와 함께 PC 시리얼 포트를 확장할 수 있는 멀티포트 시리얼 보드도 공개했다. 커미조아가 새롭게 출시한 다양한 터미널 타입 EtherCAT 슬레이브 모듈(COMI-EtherCAT ETS Slave I/O 시리즈)은 DIN Rail에 고정하는 터미널 형태로써 채널당 모듈 크기를 최소화할 수 있도록 제작되어 좁은 전장 공간에서 효율적으로 사용할 수 있는 장점이 있다. 특히, 산업 현장에서 선호하는 다양한 형태의 커넥터를 적용하고, 센서 배선을 위한 전원공급 단자를 동시에 설계함으로써 보다 편리하고 효율적인 전장작업이 가능해질 것으로 기대된다. 빠른 응답성과 안정적 구동 가능 고객들의 다양한 니즈와 요구를 충족시키며 사용 환경에 가장 적합한 제품을 선보이고자 새롭게 출시된 ETS Slave I/O 시리즈는 다양한 커

2017-03-07 17:36