국내 생산 반도체 모듈 ‘코로너스 플라즈마 베벨 클린 모듈’ 전시
반도체산업협회로부터 장학사업 특별 감사패 수상
▲ SEDEX2020에 참가한 램리서치 부스 전경. (사진 : 김동원 기자)
[헬로티 = 김동원 기자] 램리서치코리아가 서울 삼성동 코엑스에서 개최한 ‘제22회 반도체대전(SEDEX 2020)’에 참가했다. 램리서치는 이번 전시회에서 40년간 이어온 기술 혁신과 사회 공헌 활동, 한국 반도체 산업 생태계 발전을 위한 노력 등을 소개했다.
코로너스 플라즈마 베벨 클린 모듈 등 램리서치 기술 소개
램리서치는 이번 전시회에서 금속막 증착, 유전막 증착, 박막 처리 등의 증착(Deposition) 기술과 전도체 식각, 유전체 식각, 딥 식각 등 식각(Etch) 기술, 건식 제거, 습식 세정, 플라즈마 베벨 세정 등 제거 및 세정(Strip & Clean) 기술 등을 선보였다.
램리서치의 글로벌 생산기지로 경기도 오산에 위치한 램리서치매뉴팩춰링코리아는 2019년 5월에 국내 생산 5000호기를 출하한 데 이어 올해 6월에는 6000호기 생산을 달성하면서, 국내 생산 장비 출하량을 지속해서 늘리고 있다.
이번 전시회에서 램리서치는 국내에서 생산되는 반도체 모듈 중 하나인 코로너스(Coronus) 플라즈마 베벨 클린 모듈을 선보이기도 했다.
또한, 램리서치는 10월 29일 한국반도체산업협회가 주최하는 제15회 반도체 장학증서 수여식에 참석해 반도체 전공 학생 두 명에게 램리서치 장학 증서를 수여했다. 램리서치는 2007년부터 반도체 산업 분야의 우수 인재를 발굴하고 육성하기 위해 한국반도체산업협회의 장학 사업에 꾸준히 참여해 왔으며 이러한 공로를 인정받아 이날 반도체산업협회로부터 장학사업 특별 감사패를 수상했다.
▲ 램리서치는 국내에서 생산되는 반도체 모듈 중 하나인 코로너스(Coronus) 플라즈마 베벨 클린 모듈을 전시했다. (사진 : 김동원 기자)
“한국 반도체 산업 발전 위해 계속 노력할 것”
램리서치는 올해 EUV 노광 공 정에서 회로 선폭 미세화의 열쇠를 쥔 해상력(Resolution)을 높여 수율과 생산성을 크게 높이는 ‘건식 레지스트 신기술’을 ASML, imec과 공동으로 개발했다.
또한, 산출량과 혁신적인 센서 기술 구현으로 탁월한 생산성을 제공하는 식각 공정 반도체 장비인 ‘센스아이(Sense.i) 플랫폼’, 반도체 제조 시 3D NAND·D램·로직 칩 제조사의 문제를 해결하는 동종 최초의 혁신적인 아이스필(ICEFill) 기술이 탑재된 ‘첨단 원자층 증착 플랫폼’, ‘스트라이커 FE(Striker FE)’를 연이어서 발표한 바 있다.
지난 7월에는 램리서치매뉴팩춰링코리아가 국내 6개 협력사와 생산성을 높이고 수율을 확대하기 위한 상생 협력 협약을 체결하면서 국내 반도체 산업 생태계의 선순환 성장을 위한 램리서치의 노력을 재확인시켜주기도 했다.
김성호 램리서치코리아 대표는 “램리서치는 1980년 설립된 이후 지난 40년간 혁신적인 웨이퍼 제조 솔루션을 통해 세계 일류 반도체 기업들의 신뢰 받는 파트너로서 실리콘 로드맵의 견인차 역할을 해왔다. 또한, 램리서치의 혁신적인 웨이퍼 제조 장비 및 서비스로 반도체 제조 기업들이 더 작고 빠르며, 더 우수한 성능의 전자소자 개발을 가능하게 했다”고 말했다.
이어 그는 “램리서치는 반도체 장비 제조의 현지화 및 로컬 소싱을 통한 반도체 장비 및 부품 국산화, 국내로의 연구개발 역량을 확장해 더 가까운 곳에서 더 빠르게 고객을 지원하며 한국 반도체 산업 생태계의 성장과 발전을 위해 지속해서 노력할 것”이라고 덧붙였다.
