IT PI, 나노미터 정밀 모션용 A-123 에어베어링 리니어 스테이지 출시

비접촉 직접구동 구조로 스캐닝·계측·검사·포지셔닝 지원…1nm 해상도와 최대 750mm 이동거리 제공 정밀 모션 제어 및 에어베어링 포지셔닝 시스템 기업 PI가 나노미터급 스캐닝, 계측, 검사, 포지셔닝 애플리케이션을 위한 A-123 PIglide 에어베어링 리니어 슬라이드를 발표했다. 이 제품은 높은 기하학적 정확도와 속도 안정성이 요구되는 분야를 겨냥한 직접구동 비접촉 리니어 이송 스테이지다. PI가 A-123 PIglide 에어베어링 리니어 슬라이드를 출시했다. A-123은 나노미터급 스캐닝, 계측, 검사, 포지셔닝 애플리케이션을 위해 설계된 직접구동 방식의 비접촉 리니어 이송 스테이지다. 메트롤로지 뉴스에 따르면, A-123은 세 가지 핵심 서브시스템을 하나의 완전 비접촉 나노포지셔닝 스테이지에 통합했다. 직접적이고 코깅 없는 힘 생성을 위한 3상 브러시리스 리니어 모터, 마찰과 마모 없는 가이드를 위한 능동 예압 에어베어링, 1nm 해상도의 폐루프 위치 피드백을 위한 고해상도 리니어 엔코더가 적용됐다. 제품은 50mm부터 750mm까지의 이동 범위로 제공된다. 210mm × 210mm 모션 플랫폼을 갖췄으며, 최대 40kg의 하중을 지원한다. 직진도

• 김진희 기자
• 2026-07-20 16:48