KLA-Tencor가 16nm 이하 IC 개발 및 생산을 위한 첨단 계측 시스템 2종 Archer 500LCM / SpectraFilm LD10을 최근 출시했다.

이들 제품은 16nm 이하급 IC의 개발과 생산을 지원한다. Archer 500LCM 오버레이 계측 시스템은 생산 과정의 전 단계에 걸쳐 정확한 오버레이 오류 피드백을 제공함으로써 칩 메이커가 다중 패터닝, 스페이서 피치 스플리팅 등의 혁신적인 패터닝 기법을 적용할 때 발생하는 오버레이 문제를 해결하는 데 도움을 준다.

SpectraFilm LD10 필름 계측 시스템은 높은 신뢰성과 정밀한 필름 두께 및 스트레스 계측을 통해 FinFET, 3D NAND 등 다양한 첨단 디바이스의 제조에 사용되는 필름 및 필름 스택의 검증과 모니터링을 지원한다. 이들 신제품은 KLA-Tencor의 고유한 5D™ 패터닝 제어 솔루션을 구성하는 핵심 제품이다. 5D 패터닝 제어 솔루션은 전체 공정을 특성화하고 모니터링하여 최적의 패터닝 결과를 이끌어내는 솔루션이다.

Archer 500LCM 오버레이 계측 시스템은 이미징 기술과 고유한 레이저 기반 산란 측정법 계측 기술을 모두 활용하여 다양한 계측 옵션을 제공하는 동시에 인-다이, 스몰 피치 또는 멀티레이어 타깃과 같은 오버레이 계측 타깃 디자인을 폭넓게 지원한다. 이러한 유연성 덕분에 정확한 오버레이 오류 데이터를 경제적으로 생성할 수 있으며, 생성된 데이터는 스캐너 수정이나 인라인 익스커션 식별에 활용할 수 있다.

따라서 엔지니어가 엄격한 패터닝 요구 사항을 맞추기 위해 웨이퍼를 재작업 할지 아니면 공정을 조정할지를 결정하는 데 도움이 된다. 다양한Archer 500LCM 시스템은 이미 전 세계의 여러 파운드리, 논리 소자 및 메모리 제조사에서 첨단 제품 개발과 대량 생산을 위한 오버레이 성능을 독립적으로 평가하는 데 활용되고 있다.

Archer 500LCM 시스템과 SpectraFilm LD10 시스템은 SpectraShape™ 9000 임계 치수 및 디바이스 3D 구조 계측 플랫폼, K-T Analyzer® 첨단 데이터 분석 시스템 등 다양한 공정 제어 시스템과 함께 KLA-Tencor의 포괄적인 5D 패터닝 제어 솔루션을 구성한다. 첨단 IT 제조 환경의 높은 성능 및 생산성 요구 사항을 지속적으로 지원하기 위해 KLA-Tencor는 포괄적인 글로벌 서비스망을 통해 Archer 500LCM 및 SpectraFilm LD10 시스템을 지원한다. 자세한 정보는 5D 패터닝 제어 솔루션 웹 페이지에서 확인할 수 있다.

KLA-Tencor Corporation은 공정 관리 및 수율 관리 솔루션 공급업체의 선두 기업으로서, 전 세계 고객들과 협력하여 최첨단 검사 및 측정 기술을 개발하고 있다.