최첨단 결함 검사 장비
KLA의 결함 검사 장비는 감도 성능이 향상되었으며 처리량도 대폭 증가했다. 수율에 심각한 영향을 미치는 결함을 발견하고 모니터링해 칩 제조업체가 복잡한 구조, 신소재, 새로운 공정을 첨단 설계 노드에 적용할 수 있도록 지원한다. 또한 향상된 자동 결함 분류 기능을 활용해 감지된 결함을 빠르게 구분, 칩 제조업체에게 정확한 정보를 제공한다.
KLA-Tencor
☎+1-408-875-3000 www.kla-tencor.com
KLA의 결함 검사 장비는 감도 성능이 향상되었으며 처리량도 대폭 증가했다. 수율에 심각한 영향을 미치는 결함을 발견하고 모니터링해 칩 제조업체가 복잡한 구조, 신소재, 새로운 공정을 첨단 설계 노드에 적용할 수 있도록 지원한다. 또한 향상된 자동 결함 분류 기능을 활용해 감지된 결함을 빠르게 구분, 칩 제조업체에게 정확한 정보를 제공한다.
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