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[SF+AW 2022 PREVIEW] 리스광시스템, 웨이퍼 검사 시스템 등 전시

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리스광시스템이 오는 4월 6일부터 8일까지 서울 코엑스에서 열리는 ‘스마트공장·자동화산업전 2022(Smart Factory+Automation World 2022, 이하 SF+AW 2022)’에 참가한다.

 

리스광시스템이 이번 SF+AW 2022에서 선보이는 대표적인 제품은 현미경, 텔레센트릭 렌즈, 웨이퍼 검사 시스템이다.

 

 

전시될 제품을 하나씩 살펴보면, 현미경은 쾰러 조명계 & 튜브 렌즈, 대물 렌즈로 구성되어있는 광학계이며, 다양한 배율의 튜브 렌즈와 대물 렌즈 적용이 가능하다. 필터, 편광자, 빔 스플리터 등 다양한 광학 부품들을 적용할 수 있으며, 공간적 제약이 많은 환경에서 사용할 수 있도록 최적화 되어있다. 웨이퍼 검사, 원자 현미경, 바이오 칩 검사 등에 사용이 되고 있으며, 고객 요청에 따른 전 사양 커스터 마이징이 가능히다.

 

 

다음으로 텔레센트릭 렌즈는 시료의 단차 또는 원근감으로 인한 불필요한 영상을 제거하고 2D 영상을 보여주며, 필드 높이 & 투시 각도에 관계없이 검사가 가능한 광학계다. 스탠다드 타입과 고 분해능 타입이 있으며, 현재 시장 동향에 맞춰 가기 위해 센서 사이즈 1.1인치가 커버 가능한 라인업이 구성 되어있다.

 

긴 작동 거리와 넓은 화각을 가진 대구경 렌즈 라인업도 있으며, 자사에서 최적 설계된 돔 조명 사용시 밝은 광량과 높은 균일도로 최적의 영상 화질을 제공한다. 주로 반도체 및 웨이퍼 정밀 측정, 3D 개체 검사에 사용되는 이미징 광학 시스템이다.

 

 

이와함께 선보이게 될 웨이퍼 검사시스템은 시료에 따른 주문형 Optical 구성이 가능하며, 다양한 비전과 스테이지를 적용시켜 검사 프로그램을 통해 다양한 샘플을 테스트할 수 있는 장비다.

 

또한, LLC(Linear Lens Changer)을 통해 광학계 배율 변화가 가능하고, 고객 요청에 따른 오토 스테이지 또는 메뉴얼 스테이지로 커스터마이징 가능하다. 주로 웨이퍼 셀 정보 비교 검증 및 양불 판정, PCB 및 회로 기판 검사, 바코드 & QR코드 검사, Die 내부 PAD Marking 유무 검사, LED 또는 OLED Chip 양불 검사 등에 사용되는 설비다.

 

한편, 스마트팩토리·오토메이션월드 2022(Smart Factory+AutomationWorld 2022)는 ‘Driving Digital Transformation Together’ 캐치프레이즈를 내걸고, 4월 6일부터 8일까지 코엑스1층과 3층 전관을 사용하는 국내 최대 스마트팩토리, 자동화 산업 전시회로, 스마트공장엑스포(SmartFactory Expo), 국제공장자동화전(aimex), 한국머신비전산업전(Korea Vision Show)의 세부 전시회로 구성돼 있다.

 

(주)첨단, (사)한국산업지능화협회, (사)한국머신비전산업협회, 코엑스가 주최하는 ‘스마트팩토리+오토메이션월드 2022’는 국내외 350여개 기업이 참여해 차별화된 기술, 제품, 솔루션을 전시한다. 특히, 다양한 특별관이 참관객들을 맞이하며, 산업디지털전환 컨퍼런스 등 17개 컨퍼런스 200개 세션의 전문 컨퍼런스가 개최된다.

 

헬로티 김진희 기자 |

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