초순수 2단계 기술개발사업 본격 착수…하수재이용·초극미량 분석기술까지 전주기 고도화
반도체 공급망 안정·국내 물산업 경쟁력 강화 기대
정부가 반도체 공정 핵심 소재인 초순수(Ultra Pure Water) 기술 자립화에 속도를 낸다. 기후에너지환경부는 2030년까지 초순수 생산 전 공정 핵심 기자재 국산화율 90% 달성을 목표로 하는 ‘차세대 초순수 생산·공급 및 자립형 생산공정 기술개발사업(2단계)’을 본격 추진한다고 26일 밝혔다. 반도체 공급망 안정성과 물산업 경쟁력 확보를 동시에 겨냥한 전략으로 평가된다.
기후에너지환경부는 오는 27일 서울 중구 프레지던트호텔에서 한국환경산업기술원, 테크로스워터앤에너지, 지앤지인텍 등 공공기관 및 기업들과 함께 초순수 2단계 연구개발사업 착수회의를 개최한다.
초순수는 반도체·디스플레이·이차전지 생산 공정에서 웨이퍼와 설비를 세정하는 데 사용되는 고순도 공업용수다. 유기물·입자·이온 등 극미량 오염물질까지 제거해야 해 초고난도 수처리 기술이 요구된다. 업계에서는 초순수 기술을 첨단 반도체 생산 안정성과 직결되는 핵심 기반 기술로 평가하고 있다.
정부는 글로벌 공급망 리스크와 첨단산업 경쟁 심화에 대응하기 위해 2021년부터 ‘고순도 공업용수 생산 국산화 기술개발사업(1단계)’을 추진해왔다. 그 결과 자외선 산화장치(UV Oxidation), 탈기막(MDG), 이온교환수지 등 핵심 기자재 국산화에 성공했으며, 국내 기술 기반 초순수를 SK실트론 구미사업장 반도체 웨이퍼 생산공정에 실제 공급해 현장 적용성과 신뢰성도 검증했다.
이번 2단계 사업은 기존 성과를 바탕으로 초순수 생산 전 과정의 기술 자립을 완성하는 데 초점을 맞췄다.
특히 핵심 기자재 중심이었던 국산화 범위를 초순수 공급 배관 등 소재 분야까지 확대해 전 공정 국산화율을 90% 이상으로 끌어올릴 계획이다. 아울러 저에너지형 초순수 실증설비 설계기술 개발도 병행해 탄소규제 대응과 운영비 절감 효과까지 확보한다는 전략이다.
기후위기에 따른 산업용수 공급 불안정 문제 대응도 주요 과제로 포함됐다. 정부는 하수재이용수를 초순수 원수로 활용하기 위한 극미량 오염물질 제거기술 개발에 착수해 안정적인 산업용수 공급 체계 구축에 나설 예정이다.
초순수 품질 분석기술 고도화도 추진된다. 정부는 2027년부터 ppt(1조분의 1) 수준 초극미량 분석기술 개발에 나서 생산 기술 뿐만 아니라 품질 검증 역량까지 확보한다는 방침이다.
이번 사업에는 총 443억 원 규모 연구비가 투입된다. 정부 출연금은 324억 원, 민간 부담금은 119억 원이다. 사업은 초순수 생산공정 전 과정 국산화, 장거리 공급 및 저에너지 설계기술 개발, 초극미량 분석기술 개발 등 총 3개 과제로 구성된다.
정부는 초순수 산업 전 주기에 걸친 국내 기술 생태계가 구축될 경우 반도체 공급망 안정성과 함께 글로벌 물산업 시장 진출 기반도 강화될 것으로 기대하고 있다. 글로벌워터인텔리전스(GWI)에 따르면, 세계 초순수 시장 규모는 지난해 46조5000억 원에서 2030년 58조9000억 원까지 성장할 전망이다.
김지영 기후에너지환경부 물이용정책관은 “이번 2단계 초순수 연구개발사업은 단순한 기자재 국산화를 넘어 초순수 생산 전 과정의 기술 자립과 지속가능한 공급체계를 구축하는 전환점이 될 것”이라며 “반도체를 비롯한 국가 첨단전략산업 경쟁력을 뒷받침하고 국내 물기업의 해외 초순수 시장 진출 기반 마련에도 기여할 것”이라고 밝혔다.
헬로티 김진희 기자 |
