FITI시험연구원이 반도체 가스 성능·안전 평가지원센터 구축사업의 주관연구기관으로 선정됐다.
FITI시험연구원은 산업통상부 주관 ‘2026년도 반도체 가스·챔버 기반조성 신규사업’ 공모에서 ‘반도체 가스 성능·안전 평가지원센터 구축사업’의 주관연구기관으로 최종 선정됐다고 밝혔다.
이번 사업은 2030년까지 5년간 총 230억 원이 투입된다. 주관기관인 FITI시험연구원을 중심으로 충북테크노파크, 한국기계전기전자시험연구원(KTC)이 수행기관으로 참여한다.
사업 내용은 반도체 가스 품질·안전 평가지원센터 구축, 반도체 가스 기초 품질·안전성 평가 장비 30종 구축, 시험평가·분석·인증 지원, 표준 매뉴얼 수립, 기술협력 네트워크 조성 등이다.
반도체 가스 품질·안전 평가지원센터는 충청북도 청주시 오창과학산업단지에 들어선다. 센터는 연면적 1320제곱미터, 지상 2층 규모로 조성된다. 향후 반도체 가스에 대한 정밀 품질분석, 독성·안전성 평가, 시험인증 체계 구축 등을 수행하게 된다.
반도체 산업에서는 인공지능(AI) 고성능 컴퓨팅(HPC), 첨단 패키징 등 차세대 시장이 확대되면서 초미세 공정에 필요한 고순도·고기능 특수가스 수요가 늘고 있다. 이에 따라 반도체 제조공정에 쓰이는 가스 소재의 고순도 분석, 미량 불순물 평가, 공정 적합성 검증 등 정밀 품질평가의 중요성도 커지고 있다.
FITI시험연구원은 그동안 반도체 메인보드 기능안전평가, 불량원인분석, 수명평가 등에서 쌓은 시험·분석 역량을 바탕으로 공정용 가스 소재 분야까지 지원 영역을 확대한다는 계획이다. 향후 반도체 소재·부품·장비 산업과 연계해 전구체 등 첨단 공정소재 전반으로 사업 범위를 넓혀갈 방침이다.
윤주경 FITI시험연구원장은 “반도체 가스 품질·안전 평가지원센터는 대한민국 반도체 소재의 안정적인 공급과 기술 경쟁력을 확보하기 위한 핵심 인프라가 될 것”이라며 “충북 지역의 반도체 산업과 긴밀히 연계해 시험인증 기업지원 체계를 공고히 하고, 전후방 산업이 동반 성장하는 건강한 반도체 생태계를 조성하는 데 이바지하겠다”고 말했다.
헬로티 이동재 기자 |
