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인테그리스, 한국기술센터에 CMP 슬러리 필터 테스트 장비 도입

입력 : 2019.09.16 09:20

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[첨단 헬로티]


특수 케미컬 및 첨단 소재 솔루션 선도 업체인 인테그리스(Entegris Inc., Nasdaq: ENTG)는 16일, 수원 광교의 한국기술센터(Korea Technology Center)에 CMP 슬러리 필터 테스트 장비를 성공적으로 도입했다고 발표했다.


인테그리스 한국기술센터는 반도체 필터 테스트, 첨단 증착 소재, 표면 처리 및 집적에 대한 연구 장비 및 전문가를 갖추고 있는 연구 시설이다.


▲ 한국기술센터에 도입된 CMP 슬러리 필터 테스트 장비


CMP 슬러리 필터 테스트는 반도체 공정에 오염물질을 제어하는 인테그리스 ‘클린 케미컬 딜리버리 솔루션’의 핵심 구성 요소로서 첨단 노드와 핵심 반도체 공정의 높은 수율, 신뢰성 및 성능 요구를 충족하는 데 중요한 역할을 한다. 칩 디자인 아키텍처가 점점 더 복잡해지고 아주 작은 오염 물질에도 반도체 민감도가 높아지면서 반도체 공정의 오염 물질 제어에 대한 수요도 증가하고 있기 때문이다.


인테그리스는 이번 한국기술센터 확장을 통해 반도체 공정에서 사용되는 모든 종류의 케미컬, 솔벤트 및 CMP 슬러리 필터 테스트 장비를 갖추게 되었다.


인테그리스는 "한국기술센터는 CMP 슬러리 테스트 스탠드와 파티클 카운터 장비를 갖춤으로써 국내 주요 벌크 슬러리 제조사 및 종합 반도체 업체(IDM) 고객사와 함께 POU(point-of-use) 필터 공동 평가를 성공적으로 완료했으며, 그 결과 인테그리스는 고객사 공정에 가장 적합한 CMP 슬러리 여과 솔루션을 제공하고, 고객은 신기술에 도입할 제품 선정 시간을 단축시킬 수 있게 되었다."며 "한국기술센터의 전문가가 보유한 연구 지식과 노하우를 통해서 고객이 더 높은 수준의 미세오염 제어를 달성하도록 지원하고 있다."고 전했다.


인테그리스의 미세오염 제어 부문 수석부사장인 클린트 헤리스(Clint Haris)는 "최근 고객들은 4차 산업혁명으로 인한 인공 지능, 자율 주행, 블록체인, IoT 등 늘어나는 메모리 칩 수요를 충족시키고자 노력하고 있다”며, "인테그리스는 한국기술센터에 지속적으로 투자를 진행하고, 인테그리스 글로벌 기술센터와의 협업을 통해 고객이 겪고 있는 반도체 수율, 신뢰성 및 성능에 관련된 중요 과제를 해결할 수 있도록 지원함으로써 한국 고객의 선택적 파트너로 자리매김하고 있다"고 덧붙였다.


인테그리스는 한국기술센터 외에도 화성(장안)과 원주(문막), 수원에 위치한 현지 제조 및 서비스 시설을 통해 특수 가스 및 케미컬, 밸브, 피팅, 튜브 생산 및 펌프 테스트를 포함하는 광범위한 첨단 솔루션을 국내 고객에게 빠르고 안정적으로 공급하고 있다. 지난 5월에는 2020년 2분기 가동 예정인 최신 첨단 드럼 제조 시설 증설 투자를 진행하였다. 본 확장은 인테그리스의 한국에 대한 장기적인 투자 의지를 보여준다.

/김원정 기자(etech@hellot.net)

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