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[세미콘코리아 2018] 엠케이피, 내구성과 신뢰성이 우수한 질량 유량계 제품 다수 전시

입력 : 2018.02.02 22:37

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[첨단 헬로티]

엠케이피 주식회사가 1월 31일(수)부터 3월 2일(금)까지 코엑스에서 개최되는 ‘세미콘 코리아 2018’에 참가해 Pressure based Mass flow controller인 MARU9000 시리즈를 필두로 내구성 및 신뢰성이 우수하고 설치 및 작동이 편리한 질량 유량계 제품을 대거 소개했다.


엠케이피 주식회사는 질량 유량계 국내 선도기업으로, 이 회사의 질량 유량계 제품은 기체의 유로 구성부가 모두 스테인리스 재질로 제작됐다. 세미콘코리아2018에서 소개된 MARU9000은 엠케이피 주식회사의 독자적인 기술력이 집약된 제품으로, 0.5초 이내의 신속한 응답속도와 전/후단 압력 변동에도 영향을 받지 않고 기존의 제품보다 정밀하고 정확한 기체 제어 솔루션을 제공한다.



VIC-D, CAF, PSC-D, EPC, TSC&TSM 시리즈는 CMOS 센서나 MEMS 센서 등을 적용한 제품에 비해 계측부에 직접 접촉되지 않아 센서의 내구성 및 신뢰성도 우수하며, 유량을 제어하는 밸브 등이 일체형으로 제작되어 시스템이나 기존 유로에 적용이 간단해 설치 및 작동이 편리하다. 국외MFC에 의존하였던 국내 반도체 시장에 혜성같이 등장한 MARU 시리즈는 현재 반도체 메인 공정에서 가장 많이 사용되는 제품으로 한국의 반도체 시장의 성장과 함께 그 우수성을 세계에 알리고 있다. 



한편 ‘세미콘 코리아 2018’은 한국 반도체 산업의 지속적인 성장에 힘입어 국내 최대 규모로 진행된다. 4만 명 이상의 반도체 전문 엔지니어와 국내외 반도체 리더들이 한 자리에 모이는 반도체 산업 글로벌 축제 ‘세미콘 코리아’는 산업 발전의 촉매제 역할뿐 아니라 비즈니스의 실질적인 장으로 자리잡고 있다.

/김혜숙 기자(eltred@hellot.net)

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