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[세미콘코리아 2018] 니콘, 측정 어려운 투명박막 측정하는 비디오 측정 시스템 전시

입력 : 2018.02.02 18:42

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[첨단 헬로티]

니콘(NIKON)이 1월 31일부터 3월 2일까지 코엑스에서 개최되는 '세미콘 코리아 2018'에 참가해 LED, MEMS Power Device 시장에 적합한 축소투영 노광장치를 전시했다.


 

니콘의 노광장치는 g-h-i선 3파장 브로드밴드에 의한 고조도화 및 광 노광범위에 따른 고생산성을 실현한 제품으로 i선 레지스트에 적합해 i선 단파장 선택이 가능하다. 안전규격 대응으로 신뢰도를 보장했으며 깊은 DOF 영역으로 두꺼운 포토레지스트와 고단차에도 대응이 가능하다.



함께 소개된 CNC 비디오 측정 시스템인 NEXIVVMZ-K 시리즈는 한번의 스캔 화상으로 2차원 길이 및 미세 단차의 고정밀도 동시 측정이 가능한 장치이다. 니콘의 독자적인 광학계와 알고리즘으로 고정밀도 측정이 어려운 투명 박막의 측정이나 높은 대조비 및 다층 샘플의 측정에 성능을 발휘한다.


한편 '세미콘 코리아 2018'은 한국 반도체 산업의 지속적인 성장에 힘입어 국내 최대 규모로 진행된다. 4만 명 이상의 반도체 전문 엔지니어와 국내외 반도체 리더들이 한 자리에 모이는 반도체 산업 글로벌 축제 '세미콘 코리아'는 산업 발전의 촉매제 역할뿐 아니라 비즈니스의 실질적인 장으로 자리잡고 있다

/정가현 기자(eled@hellot.net)

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