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[세미콘코리아 2018] SK머티리얼즈, 반도체 공정 특수가스 ‘삼불화질소’ 생산량 세계 1위

입력 : 2018.02.02 01:49

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[첨단 헬로티]

SK머티리얼즈(SK materials)가 1월 31일부터 2월 2일까지 코엑스에서 개최되는 '세미콘 코리아 2018'에 참가해 반도체 생산에 들어가는 다양한 소재에 대한 소개 코너들로 전시 부스를 마련하였다. 


 

SK머티리얼즈는 종합반도체 소재기업으로, 반도체 공정에 쓰이는 특수가스 중 하나 삼불화질소(NF3)를 자체 개발하였다. 현재 연간 1만600톤 규모 생산 설비를 보유하고 있다. 삼불화질소 생산은 세계 1위, 육불화텅스텐(WF6) 역시 세계 1위, 모노실란(SiH4)은 세계 2위 생산 능력을 갖췄다. 


삼불화질소는 반도체, 디스플레이 및 태양전지의 제조공정에서 사용되며, CVD 공정 후 챔버 내부 잔류물을 제거하기 위한 클리닝 용도로 사용된다. 육불화텅스텐은 반도체 제조공정에서 메탈 컨텍트 및 게이트를 형성하는 용도로 사용된다. 모노실란은 또한 반도체, 디스플레이 및 태양전지 제조공정에서 Si 절연막, Si 반사방지막 형성 사용된다. 


SK머티리얼즈는 이 외에 반도체 미세화 공정에 사용되는 가스 ‘다이실란(Si2H6)’, 질화막(SixNy) 증착 시 사용되는 ‘다이클로로실란(SiH2Cl2) 등을 생산하고 있다. 


한편 '세미콘 코리아 2018'은 한국 반도체 산업의 지속적인 성장에 힘입어 국내 최대 규모로 진행된다. 4만 명 이상의 반도체 전문 엔지니어와 국내외 반도체 리더들이 한 자리에 모이는 반도체 산업 글로벌 축제 '세미콘 코리아'는 산업 발전의 촉매제 역할뿐 아니라 비즈니스의 실질적인 장으로 자리잡고 있다.

/조상록 기자(mandt@hellot.net)

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