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[세미콘코리아 2018] 한국가와사키로보틱스, 안정된 웨이퍼 반송 성능을 실현하는 ‘크린 로봇’ 전시

입력 : 2018.02.04 18:14

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[첨단 헬로티]

한국가와사키로보틱스가 1월 31일부터 2월 2일까지 코엑스에서 개최된 '세미콘 코리아 2018'에 참가해 많은 실적을 통해 안정된 웨이퍼 반송 성능을 실현하는 크린 로봇을 선보였다. 


1969년 일본에서 처음 산업용 로봇을 생산한 가와사키가 크린 로봇 개발에 착수한 것이 1995년으로, 종래에 없던 독창적인 반송 시스템을 제안하면서 라인업을 정돈해 왔다.


로봇을 포함한 자동화 분야에서 100을 넘는 특허를 가지고 전세계 14만대 이상의 로봇을 납품한 가와사키는 글로벌한 조달・생산・서비스 체제를 확립하여 로봇이나 주변장치는 물론 오토메이션 시스템의 엔지니어링까지 크린 업계의 폭넓은 요구에 대응해 왔다.


크린 반송 분야를 리드하고 있는 가와사키는 하이 스루 풋(High Throughput)을 가능하게 하여 미세화 기술에 필요한 저 파티클 성능이나 차세대의 450mm 웨이퍼 대응 등 미래를 향한 베스트 솔루션을 전달하고 있다.



이번 전시회에 출품한 크린 로봇 TT 시리즈는 최대 4개의 FOUP에 액세스할 수 있는 가능을 포함한 NT 시리즈의 모든 기능을 구현할 수 있다. 가와사키 고유의 고강성 텔레스코픽 메커니즘으로 높은 위치와 낮은 위치에서 고속 핸들링이 가능하며, SEMI-F47 표준을 준수한다. 전압 저하와 같은 문제에 대한 즉각적인 대응 및 전압이 복구되면 자동 재개된다. 또한 SEMI-S2 표준을 준수한다. 환경과 개인 안전에 대한 충분한 고려, 충돌로 인한 손상을 줄이기 위해 충돌 감지 기능을 갖추고 있다.


한편 '세미콘 코리아 2018'은 한국 반도체 산업의 지속적인 성장에 힘입어 국내 최대 규모로 진행된다. 4만 명 이상의 반도체 전문 엔지니어와 국내외 반도체 리더들이 한 자리에 모이는 반도체 산업 글로벌 축제 '세미콘 코리아'는 산업 발전의 촉매제 역할뿐 아니라 비즈니스의 실질적인 장으로 자리잡고 있다.

/김정아 기자(prmoed@hellot.net)

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