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한화정밀기계-SK하이닉스 공동개발 반도체 장비 ‘다이 본더’, 장영실상 수상

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[헬로티]


한화정밀기계와 SK하이닉스가 공동 개발한 반도체 후공정 핵심 장비 ‘다이 본더(Die Bonder)’가 ‘IR52 장영실상’ 수상 제품에 선정됐다.


이번 제품은 기존 90% 이상 일본 수입에 의존하고 있던 반도체 장비를 성공한 사례다.


▲ 한화정밀기계와 SK하이닉스가 공동 개발한 다이 본더 이미지 (출처 : 한화정밀기계)


IR52 장영실상은 과학기술정보통신부가 주최하는 국내 최고의 산업 기술상으로 신기술 제품을 개발 상품화하여 산업기술 혁신에 앞장 선 국내업체와 연구소의 기술개발 담당자에게 주는 상이다.


다이 본더는 반도체 후공정인 패키징 공정 중 가장 고난도의 핵심 장비 중 하나로 다이(Die)는 반도체, 본더(Bonder)는 반도체와 PCB 기판을 열과 압력으로 정밀하게 접착하는 기계라는 뜻이다.


한화정밀기계는 이번 다이 본더에 자체 개발한 보정 기술을 적용하여 자재 교체 시간을 개선하고 4개 멀티 헤드 및 겐트리 개별 제어로 4.2마이크로미터급(㎛, 100만분의 1미터) 고정밀 조립 정도를 유지하면서 해외 주요 경쟁사 대비 2.5배 이상의 실 생산성을 높였다.


또한, SK하이닉스에서 개발한 에어 리프트(Air Lift) 타입 픽업 장치를 적용하여 25마이크로미터 두께의 반도체 다이를 고속으로 픽업하면서도 제품에 가해지는 스트레스를 기존 대비 30% 수준으로 낮춰 반도체 완성품의 불량 원천 방지를 통해 불량률을 개선했다.


이번 국산화는 장비 전문기업인 한화정밀기계의 플립칩 본더 기술과 장비 수요 기업인 SK하이닉스의 반도체 패키징 공정 기술을 결합하여 이뤄냈다는 데 의미가 있다.


한화정밀기계 영업마케팅 실장 조영호 상무는 “앞으로 다이 본더 양산 물량 추가 수주로 국내 인력 채용이 확대되고 국내 중소 협력사들에게 안정적인 생산 물량이 확보되어 기반 기술의 발전이 기대된다”고 말했다.


SK 하이닉스 PKG장비개발 이영범 팀장은 “일본 수출 규제에 따른 반도체 산업 위기감이 고조된 상황에서 양사 긴밀한 협력으로 1년 6개월이라는 짧은 기간에 세계 최고 성능의 다이 본더 국산화 개발에 성공하여 품질 안정화와 장비 경쟁력을 높여 기쁘게 생각한다”고 전했다.


한편, 한화정밀기계는 한화에어로스페이스의 자회사로, 그룹 내에서 전자 및 기계분야 제조장비 부문을 총괄하며 크게 칩마운터와 공작기계 사업을 수행하고 있다.










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